基于强度偏振联合调制掩码的单曝光高光谱成像系统及其检测方法

本发明提出了一种基于强度偏振联合调制掩码的单曝光高光谱成像系统及其检测方法，包括激发光源组、压缩采集模块、重构模组和偏振降噪模组。激发光源组产生线偏振光照射被测物，使其发生光致发光或拉曼散射现象。压缩采集模块接收信号并完成压缩采集，重构模组利用深度学习算法从压缩观测图像中重建全偏振光谱图像数据，偏振降噪模组去除镜面反射噪声分量，输出降噪后的光致发光或拉曼散射高光谱图像数据。本发明能够快速稳定地完成光致发光及拉曼散射光谱成像，提高材料检测效率和信噪比，适用于半导体检测等领域。