一种面向等离子体发生的参数化高压调制交流电源

本发明公开了一种面向等离子体发生的参数化高压调制交流电源，属于电子电源技术领域。所述电源由多级变换模块构成：直流升压部分采用BOOST电路，将输入的低压直流电源提升至高压直流；逆变部分采用移相全桥逆变电路，将升压后的直流高压转换为高频交流信号；后级接入高压变压器，对交流波形进行进一步升压输出；采用脉冲密度调制控制方式，通过调整脉冲开关密度精确控制输出有效电压和调制参数，以满足等离子体激励过程中对高压脉冲信号特性严格的需求；本发明电路结构简单紧凑、参数可调范围宽、控制精度高、转换效率优良，可为各种等离子体发生或激励系统提供稳定、灵活的高压交流脉冲电源，提高等离子体装置的性能和可靠性。