摘要
本发明公开了一种用于半导体构件的自适应定位裁切方法及系统,涉及半导体制造技术领域,该方法包括:连接视觉传感器,获得图像信息;对图像信息进行构件识别分析,确定构件拼接关系,并解析裁切基准;进行裁切设备定位对齐,进行裁切路径及裁切参数分析,获得裁切预策略;根据所述裁切预策略进行跟踪预测,进行裁切预策略自适应重构,根据重构裁切策略进行裁切修正控制。本发明解决了现有技术中半导体构件裁切过程中因定位不准,偏差修正不及时导致的裁切精度低和效率差的技术问题,达到了实现半导体构件位置与姿态信息的实时采集及图像分析,通过实时跟踪偏差自适应重构策略,提高了裁切精度与效率的技术效果。
技术关键词
半导体构件
裁切方法
裁切设备
视觉传感器
参数
坐标
基准
多芯片
定位裁切系统
偏差
关系
图像
异常信息
重构策略
分区结构
特征点