一种半导体样品的缺陷检测方法及系统

本申请公开了一种半导体样品的缺陷检测方法及系统，涉及半导体技术领域，解决了现有的半导体表面缺陷检测的固有检测方案导致的对半导体表面的部分缺陷识别效率低的技术问题；包括：获取待检测半导体样品的第一图像组，将第一图像组中的各个检测图像依次输入缺陷识别模型得到其对应的识别类型和置信度；所述缺陷识别模型通过人工智能模型训练得到；基于各个检测图像的识别类型和置信度生成二次采集方案；所述二次采集方案包括若干第二相机坐标和第二拍摄方向；获取待检测半导体样品的第二图像组；基于第一图像组和第二图像组中的检测图像生成识别结果；增加了半导体表面缺陷检测的准确度。