一种微led芯片封装结构及制备方法

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一种微led芯片封装结构及制备方法
申请号:CN202510803987
申请日期:2025-06-17
公开号:CN120322081B
公开日期:2025-09-30
类型:发明专利
摘要
本发明涉及微电子技术领域,公开了一种微led芯片封装结构及制备方法,该方法包括以下步骤:首先在蓝宝石衬底上依次生长N型基层、量子阱和P型基层;然后通过激光剥离技术将微led芯片从蓝宝石衬底上剥离并转移至临时基板;接着将多个临时基板依次键合到透明基板上,键合使用透明键合胶材料;最后,通过平坦化工艺填充微led芯片与透明基板之间的空隙,确保表面平整。通过激光剥离技术与精确的键合工艺,确保了微led芯片的完好性,避免了传统方法中的损伤问题,采用透明键合胶材料提高了光透过率,改善了显示效果的亮度与清晰度,通过三角型排列方式,解决了现有“一”字型排列带来的视角色偏问题,提高了显示质量的均匀性。
技术关键词
芯片封装结构 蓝宝石衬底 氮化镓层 透明基板 激光剥离技术 平坦化工艺 激光烧蚀 金属垫 正电极 金属环 透过率 环氧树脂 层厚度 尺寸 光刻 石英
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