摘要
本发明涉及微电子技术领域,公开了一种微led芯片封装结构及制备方法,该方法包括以下步骤:首先在蓝宝石衬底上依次生长N型基层、量子阱和P型基层;然后通过激光剥离技术将微led芯片从蓝宝石衬底上剥离并转移至临时基板;接着将多个临时基板依次键合到透明基板上,键合使用透明键合胶材料;最后,通过平坦化工艺填充微led芯片与透明基板之间的空隙,确保表面平整。通过激光剥离技术与精确的键合工艺,确保了微led芯片的完好性,避免了传统方法中的损伤问题,采用透明键合胶材料提高了光透过率,改善了显示效果的亮度与清晰度,通过三角型排列方式,解决了现有“一”字型排列带来的视角色偏问题,提高了显示质量的均匀性。
技术关键词
芯片封装结构
蓝宝石衬底
氮化镓层
透明基板
激光剥离技术
平坦化工艺
激光烧蚀
金属垫
正电极
金属环
透过率
环氧树脂
层厚度
尺寸
光刻
石英