一种基于相位调制的激光干涉测量方法

本发明公开了一种基于相位调制的激光干涉测量方法，通过激光器产生的激光依次经扩束镜、起偏器获取线偏振光，利用分光棱镜分为参考光和测量光。参考光经第一反射镜、相位调制器(由相位调制驱动电路控制调制)后，与经第二反射镜、待测物体、物镜、针孔的测量光在分光棱镜处汇合形成干涉光，光电探测器将干涉光转换为电信号，经信号处理电路、数据采集卡传输至计算机分析处理，得到待测物体的位移、速度或形变信息。本发明采用半导体激光器(波长630‑680nm，功率10‑50mW)、电光相位调制器(调制带宽＞100kHz，半波电压＜5V)、针孔(直径50‑150μm)及高采样频率、高分辨率数据采集卡等。