摘要
本发明涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种单晶炉炉底冷却水控制系统及方法,控制系统包括:数据采集模块,用于实时采集单晶炉的炉底数据;中心控制模块,包括MAML算法分析单元、参数计算单元和控制指令输出单元;MAML算法分析单元用于利用MAML算法分析炉底数据,得到炉底分析数据;参数计算单元用于计算调节参数值;控制指令输出单元用于将调节参数值转化为控制指令,输出给指令执行模块执行;指令执行模块,用于根据控制指令对单晶炉冷却设备进行参数调整。本发明基于控制系统和传感器技术,实现了冷却水系统的自动化运行和管理,减少了人工干预,提高工作效率和控制精度,减少温度对晶体质量的影响。
技术关键词
冷却水控制系统
炉底
冷却水控制方法
冷却设备
监控主机
分析单元
冷却水系统
单晶炉
数据采集模块
参数
调节阀开度
调节制冷设备
通信网络单元
神经网络模型
算法
控制模块