一种单晶炉炉底冷却水控制系统及方法

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一种单晶炉炉底冷却水控制系统及方法
申请号:CN202510806886
申请日期:2025-06-17
公开号:CN120315400A
公开日期:2025-07-15
类型:发明专利
摘要
本发明涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种单晶炉炉底冷却水控制系统及方法,控制系统包括:数据采集模块,用于实时采集单晶炉的炉底数据;中心控制模块,包括MAML算法分析单元、参数计算单元和控制指令输出单元;MAML算法分析单元用于利用MAML算法分析炉底数据,得到炉底分析数据;参数计算单元用于计算调节参数值;控制指令输出单元用于将调节参数值转化为控制指令,输出给指令执行模块执行;指令执行模块,用于根据控制指令对单晶炉冷却设备进行参数调整。本发明基于控制系统和传感器技术,实现了冷却水系统的自动化运行和管理,减少了人工干预,提高工作效率和控制精度,减少温度对晶体质量的影响。
技术关键词
冷却水控制系统 炉底 冷却水控制方法 冷却设备 监控主机 分析单元 冷却水系统 单晶炉 数据采集模块 参数 调节阀开度 调节制冷设备 通信网络单元 神经网络模型 算法 控制模块
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