一种nanoscope软件可快速批量分析TEM图像及关键尺寸测量方法

本发明提供一种nanoscope软件可快速批量分析TEM图像及关键尺寸测量方法，涉及芯片制造技术领域，包括搭建TEM图像智能分析与量测系统，所述TEM图像智能分析与量测系统中包含有图像采集模块、图像预处理模块、量测模板生成模块、量测路径规划模块、数据融合与分析模块和云端优化模块，本发明中TEM‑Nanoscope通过量子计算加速模块(20量子比特，10个CNOT门)和A*算法路径规划模块，将百万级TEM图像的特征提取时间从小时级缩短至分钟级(效率提升50倍)，路径规划时间降至1秒，解决了传统手动分析和主流软件处理速度慢的瓶颈。与DigitalMicrograph和ImageJ的逐一处理相比，支持高通量分析，大幅提高生产效率。