一种聚焦式高消光比红外偏振集成探测器结构及其设计方法

本发明公开一种聚焦式高消光比红外偏振集成探测器结构及其设计方法，其结构包括读出电路层、铟柱互连层、光敏芯片吸收层、空气间隔层、集成铟柱层、金属光栅层、衬底层和超构透镜聚光层。通过超构透镜聚光层和金属光栅层双面对准设计，同时具备对应线偏振光的光汇聚和偏振滤光功能，与焦平面像元对准集成后实现高消光比的红外偏振探测器。