一种叠合光波导内部缺陷的检测方法

本发明涉及一种叠合光波导内部缺陷的检测方法，包括：S300：视觉模块在Z轴方向上对焦到第i个纵向对焦位置处，检测叠合光波导的第i层内部缺陷，采集第i层内部缺陷图；S500：视觉模块在Z轴方向上对焦到第i+1个纵向对焦位置，检测叠合光波导的第i+1层内部缺陷，采集第i+1层内部缺陷图；S600：通过令更新的i=i+1来继续迭代执行步骤S500，直到视觉模块在Z轴方向上对焦到最终位置Zm，检测叠合光波导的第m层内部缺陷，采集第m层内部缺陷图；S700：根据采集到的第1至第m层内部缺陷图，通过使用纵向图像合成算法来生成第1至第m层叠合光波导内部缺陷图的总图。本发明提高了检测准确性，提升了检测效率。