摘要
多模态可重构金刚石日盲紫外光电晶体管及其制备方法,本发明是为了解决现有人工视觉系统的传感、存储和计算架构分离的问题。本发明金刚石日盲紫外光电晶体管是在金刚石基底的表面带有终端,在金刚石基底的上表面沉积第一金属膜层作为第一接触电极,所述第一接触电极为肖特基接触,第二接触电极为金属探针,第二接触电极与金刚石基底的上表面针尖接触,在金刚石基底的下表面沉积第二金属膜层作为第三接触电极,所述第三接触电极为肖特基接触。本发明可重构金刚石日盲紫外光电晶体管在一个器件内集成了雪崩探测器、光学存储器和视觉突触等不同功能,实现了金刚石探测器的增益大幅跃升与单器件的多模态智能感知。
技术关键词
金刚石基底
日盲紫外光
接触电极
晶体管
重构
金属探针
肖特基
多模态
终端
叠层材料
湿化学法
人工视觉系统
硼杂质含量
雪崩探测器
电子级
栅极
去离子水
气体