摘要
本发明涉及一种光学封装结构及其形成方法。所述光学封装结构包括:光学集成芯片,包括光学元件区域以及位于光学元件区域外部的电芯片区域;电子芯片,贴装于光学集成芯片的电芯片区域上;透明盖结构,包括透明块体和透明膜,透明块体贴装于光学集成芯片的光学元件区域上,透明膜贴装于透明块体背离光学集成芯片的表面上;塑封层,位于光学集成芯片的正面上,且塑封电子芯片、透明块体和透明膜,透明膜背离透明块体的表面与塑封层背离光学集成芯片的表面齐平。本发明能够在降低光学封装结构翘曲度的同时,避免光学元件区域受到塑封料的污染,而且避免了传统工艺中玻璃材质的保护盖研磨不了的问题。
技术关键词
光学集成芯片
光学封装结构
光学元件
透明膜
盖结构
电子芯片
聚甲基丙烯酸甲酯
正面
导流槽
胶黏剂
氧化硅
涂覆
粗糙度
石英
长方体
双面
锥形
玻璃