一种基于扫描电镜成像原理的微观物体三维重建方法

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一种基于扫描电镜成像原理的微观物体三维重建方法
申请号:CN202510815178
申请日期:2025-06-18
公开号:CN120635328A
公开日期:2025-09-12
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于扫描电镜成像原理的微观物体三维重建方法。本发明首先基于扫描电镜二次电子成像物理机制,建立电子束入射角度与图像灰度的映射关系,通过计算相机观测方向与高斯平面法向的夹角,结合多层感知机训练的位置相关导电特性参数,重构高斯平面颜色模型,彻底消除因物理原理失配产生的浮点伪影;其次创新性引入相机位姿联合优化机制,将采集图像的相机空间位置和旋转姿态转化为可训练参数,在平面高斯溅射框架训练过程中同步优化位姿变换矩阵,有效解决因扫描电镜大景深特性导致的初始位姿误差放大问题,显著抑制重建图像的重影现象。本发明方法最终实现高保真微观结构重建,为材料科学领域提供精确的三维表征手段。
技术关键词
物体三维重建方法 二次电子发射系数 多层感知机 扫描电镜图像 成像 电子束 相机 扫描电镜样品台 颜色 像素 梯度下降算法 矩阵 导电 三维打印机 参数 重影现象 球谐函数 位姿误差
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