摘要
本发明公开了一种基于扫描电镜成像原理的微观物体三维重建方法。本发明首先基于扫描电镜二次电子成像物理机制,建立电子束入射角度与图像灰度的映射关系,通过计算相机观测方向与高斯平面法向的夹角,结合多层感知机训练的位置相关导电特性参数,重构高斯平面颜色模型,彻底消除因物理原理失配产生的浮点伪影;其次创新性引入相机位姿联合优化机制,将采集图像的相机空间位置和旋转姿态转化为可训练参数,在平面高斯溅射框架训练过程中同步优化位姿变换矩阵,有效解决因扫描电镜大景深特性导致的初始位姿误差放大问题,显著抑制重建图像的重影现象。本发明方法最终实现高保真微观结构重建,为材料科学领域提供精确的三维表征手段。
技术关键词
物体三维重建方法
二次电子发射系数
多层感知机
扫描电镜图像
成像
电子束
相机
扫描电镜样品台
颜色
像素
梯度下降算法
矩阵
导电
三维打印机
参数
重影现象
球谐函数
位姿误差
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