一种涂胶显影机

本发明涉及晶圆加工设备加工技术领域，具体为一种涂胶显影机，包括搬运机械臂，用于对晶圆进行运送；盛具，用于对光刻胶进行盛放，还包括开合机构，其设置于盛具的顶部，可对盛具顶部的开放状态进行控制；所述开合机构包括滑动设置于盛具顶端的开合部件以及活动套装于盛具外部的传动套环。本发明当搬运机械臂带动晶圆穿过传动套环向盛具中移动时，可挤压传动套环向下移动，进而带动开合部件向盛具周侧张开，将盛具顶端开放，以实现晶圆对光刻胶的蘸取；当晶圆完成蘸胶以及离心涂布后，搬运机械臂带动晶圆脱离盛具，开合部件可复位将盛具重新闭合，保证盛具非工作状态下处于封闭状态，从而避免光刻胶中溶剂挥发对涂布质量造成影响。