摘要
本发明提供一种三维堆叠结构及其制造方法,本发明采用具有有机介质层的第一互连层与第二互连层作为堆叠单元之间的键合层,进行有机混合键合,三维堆叠结构的堆叠单元之间的空隙、互连层的导电线路中的导电结构的关键尺寸及间距均较小,因此可以做到更密集的IO互联以及更多层的堆叠,并且堆叠单元之间通过导电线路的互联导热,散热效果更好。
技术关键词
三维堆叠结构
导电线路
介质
通孔
芯片
导电结构
光刻掩膜
旋涂工艺
基板
阻挡层
晶圆
衬底
导热
空隙
间距
尺寸
系统为您推荐了相关专利信息
LED显示模组
半导体层
电极
量子阱发光层
芯片
在线评估方法
锅炉水冷壁
存储装置
水冷壁下集箱
水冷壁鳍片
园区微电网
光伏发电功率
优化控制方法
算法
储能电池
标注工具
人工智能平台
数据同步方法
文件扩展名
数据同步装置