一种用于四级质谱计的fA级微小信号放大器

本申请涉及真空测量仪器技术领域，具体而言，涉及一种用于四级质谱计的fA级微小信号放大器，包括正离子信号处理系统、电子信号处理系统，信号采集模块以及隔离模块，其中：正离子信号处理系统包括正离子I‑V转换模块和正离子信号调理模块，正离子I‑V转换模块与正离子信号调理模块连接；电子信号处理系统包括电子I‑V转换模块和电子信号调理模块，电子I‑V转换模块与电子信号调理模块连接；正离子信号调理模块和电子信号调理模块均与信号采集模块连接；信号采集模块与隔离模块连接。本申请能够直接有效的对四极质谱计法拉第筒端的正离子信号，电子倍增器端的电子信号进行放大、采集，实现正离子1×10‑14A～1×10‑8A、电子1×10‑12A～1×10‑6A范围的测量。