芯片和电子设备

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推荐专利
芯片和电子设备
申请号:CN202510825964
申请日期:2025-06-19
公开号:CN120413573B
公开日期:2025-10-14
类型:发明专利
摘要
本公开提供了一种芯片和电子设备,涉及半导体芯片技术领域,旨在解决芯片的膜层间的翘曲问题,芯片包括:元胞区和围绕元胞区的终端区;芯片还包括:基底、位于基底一侧的多层绝缘层以及位于终端区的第一类嵌套结构;其中,第一类嵌套结构包括:第一嵌套结构,第一嵌套结构包括:设于基底上且朝向绝缘层一侧的第一沟槽,及设于与基底相邻设置的绝缘层上且朝向基底一侧的第一凸起,第一凸起填充第一沟槽。
技术关键词
嵌套结构 基底 沟槽 导电层 半导体场效应晶体管 结型场效应晶体管 肖特基势垒二极管 电子迁移率晶体管 半导体芯片技术 绝缘栅双极型晶体管 半导体器件 层间介质层 电子设备 多边形 环状 通孔
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