摘要
本公开提供了一种芯片和电子设备,涉及半导体芯片技术领域,旨在解决芯片的膜层间的翘曲问题,芯片包括:元胞区和围绕元胞区的终端区;芯片还包括:基底、位于基底一侧的多层绝缘层以及位于终端区的第一类嵌套结构;其中,第一类嵌套结构包括:第一嵌套结构,第一嵌套结构包括:设于基底上且朝向绝缘层一侧的第一沟槽,及设于与基底相邻设置的绝缘层上且朝向基底一侧的第一凸起,第一凸起填充第一沟槽。
技术关键词
嵌套结构
基底
沟槽
导电层
半导体场效应晶体管
结型场效应晶体管
肖特基势垒二极管
电子迁移率晶体管
半导体芯片技术
绝缘栅双极型晶体管
半导体器件
层间介质层
电子设备
多边形
环状
通孔