芯片中电容阵列的电容测量装置和方法

本发明涉及芯片中电容阵列的电容测量装置和方法，通过对传统的电容测量电路进行优化设计，采用基于纵横线互电容的差分电容测量技术，对每两个互电容之间的容差进行处理分析，来提升微小电容变化的捕捉能力。通过向相邻发射电极施加相位相反的激励，利用电流相消原理提取电容差异，有效消除电路器件工艺偏差和环境温度漂移的影响，利用差分电容测量模块将nA量级复合电流信号转换为电压，结合高通和低通滤波消除直流偏移，确保高增益下的信号稳定性；采用频域信号处理模块提取激励的幅值和相位，将模拟信号转换为数字信号，将噪声影响降至最低，以生成高熵密钥，测量结果鲁棒性和精确度高，抗干扰能力较强。