一种电子集成芯片制作设备及其制备方法

本发明公开了电子集成芯片技术领域的一种电子集成芯片制作设备及其制备方法，包括箱体和隔板，箱体的内部设有隔板，隔板的表面嵌设有条形孔，条形孔设有多个，隔板的一侧设有滑轨，滑轨的内部设有晶圆，隔板的一侧设有加热丝，分别位于箱体的两侧，隔板的一侧设有温度传感器，箱体的顶部设有报警器，报警器和温度传感器电性连接，箱体的顶部设有制氧机，通过设有的隔板、条形孔、滑轨、晶圆、加热丝、温度传感器、报警器和制氧机，由于加热丝设置在箱体的两侧，从而使晶圆在加热时受热均匀，可有效提高产品的质量，在加热时，制氧机可对箱体的内部输送氧气，加快了晶圆的氧化速度，使其表面迅速生成二氧化硅，提高了生产效率。