谱学测量数据中多峰的识别方法、厚度测量方法及设备

本发明提供一种谱学测量数据中多峰的识别方法、厚度测量方法及设备，涉及数据处理技术领域。该方法包括：获取目标谱学测量数据；对目标谱学测量数据进行差分处理，得到差分谱学测量数据；基于差分谱学测量数据按照多峰导数方程进行拟合，得到第一拟合结果；多峰导数方程基于目标谱学测量数据的多峰参数方程得到；将第一拟合结果的参数为初始猜测，基于目标谱学测量数据按照多峰参数方程进行拟合，得到第二拟合结果，第二拟合结果中包含多峰的位置信息。通过实施本发明，能够消除基线干扰，增强峰特征识别准确度。并且能够避免拟合算法因随机初始值导致失败，提升收敛速度和稳定性，进一步提升对多峰特征的识别准确度。