一种远程等离子源逆变驱动系统及控制方法

本发明公开了一种远程等离子源逆变驱动系统及控制方法，包括：信号隔离模块，接收外部2n路PWM信号，通过双通道光耦生成隔离后对应的2n路驱动信号；互锁控制模块，包含2n个的高频变压器，2n个的高频变压器中的各高频变压器的初级线圈交叉连接2n路驱动信号中的两路驱动信号，2n个的高频变压器的次级线圈均输出具有互补关系的驱动脉冲对；自举电源模块，接收互锁控制模块的次级线圈输出的2n个驱动脉冲对，并将所述2n个驱动脉冲对经肖特基二极管半波整流和低ESR电容滤波，以生成对应的供电电压。本申请的系统及控制方法通过硬件级互锁消除直通风险、自适应能量复用简化电源结构、复合阻抗优化抑制高频振荡，实现了高频变频工况下的工业级可靠驱动。