摘要
本发明的一种HDI板防焊曝光过程自动化工业控制系统,属于工业自动化控制技术领域,其包括控制器,控制器用于执行以下步骤:步骤a:采集过程扰动数据和过程核心状态数据;步骤b:基于过程扰动数据和过程核心状态数据;步骤c:协同控制能量执行单元和所述真空执行单元;步骤d:在曝光后采集表征曝光质量的过程质量数据,并基于过程质量数据对步骤b中生成目标补偿能量与动态真空稳定目标的决策逻辑进行修正。本方案的协同控制模型确保了在增加曝光能量的同时,通过同步提升真空水平来维持或增强贴合力,从物理机制上解决了热效应与真空稳定性的矛盾,有效防止了气泡缺陷的形成。
技术关键词
工业控制系统
工业自动化控制技术
数据
因子
控制器
PID控制算法
核心
动态
温湿度
真空度
指数
闭环控制
基准
腔体
基板
决策
气泡
传感器
逻辑