摘要
本发明公开了一种拉曼探头焦点热效应和热损伤的测量方法,包括如下步骤;S1:建立稳定的激光输出系统,配置适当的光学聚焦系统;S2:将标准样品按预定步长升温至目标温度,并在每个目标温度下保持若干分钟,使用拉曼光谱仪对标准样品进行光谱测量;S3:在拉曼光谱测量过程中,对标准样品表面进行实时温度监测,对采集到的拉曼光谱数据进行归一化处理;S4:建立拉曼光谱相对强度变化特征与温度T之间的定量关系模型;S5:根据模型预测当前预设参数下标准样品的温度T,根据预测结果调整测量参数,使预测的温度T低于待检测样品的温度阈值。该方法能够在拉曼测量之前预知激光的热效应,提前设置合适的测量参数,避免对被测样品造成热损伤。
技术关键词
测量方法
激光输出系统
光学聚焦系统
拉曼光谱仪
拉曼探头
协方差矩阵
参数
强度
热成像仪
焦点
迭代算法
连续可调
温度稳定
氮化镓
数据
低功率
加热
单晶硅
氧化锌