一种过程工艺参量偏离风险量化分析方法

本申请提供了一种过程工艺参量偏离风险量化分析方法，涉及风险量化的技术领域，本申请首先通过历史数据对朴素贝叶斯模型进行训练，将实时数据输入训练后的朴素贝叶斯模型获得推理偏移量，基于推理偏移量对各种工艺参量的初始基准范围进行调节，通过实时数据和调节后的基准范围获得偏差，基于偏差计算偏离度，根据偏离度判断是否存在风险，本申请能够利用历史数据量化过程工艺参量偏离风险。