用于验证半导体芯片特性的装置及方法

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用于验证半导体芯片特性的装置及方法
申请号:CN202510844331
申请日期:2025-06-23
公开号:CN120914124A
公开日期:2025-11-07
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种装置包括多个半导体芯片、待测装置电路、控制电路和开关电路。半导体芯片制造于包括一或多条切割线的半导体晶圆上。待测装置电路形成沿着至少一条切割线并包括多个待测装置。开关电路连接在待测装置电路和控制电路之间。控制电路产生多个控制信号。开关电路响应于控制信号一次将一个待测装置连接到测试探针垫。还揭露用于验证半导体芯片特性的方法。
技术关键词
待测装置 开关端子 开关电路 测试探针 控制电路 半导体芯片 晶体管 信号 半导体晶圆 切割线 解码器 节点 周期 频率
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