摘要
本申请涉及传感器技术领域,尤其涉及一种敏感元件以及加速度传感器。敏感元件包括:敏感芯片,沿敏感元件自身的厚度方向成对设置,每个敏感芯片包括固定框、悬臂梁组件和质量块,质量块位于固定框内部,悬臂梁组件连接于固定框和质量块之间,沿厚度方向,固定框具有相对的第一侧和第二侧,成对设置的固定框的第二侧朝向彼此设置,悬臂梁组件相对于第二侧靠近第一侧设置;粘接层,位于成对设置的敏感芯片之间,粘接层沿厚度方向覆盖固定框以及质量块的至少部分,成对设置的敏感芯片的固定框、质量块分别通过粘接层对应连接。本申请提供的敏感元件能够降低横向灵敏度,提升测量准确性。
技术关键词
悬臂梁组件
芯片
线段
加速度
弯曲
传感器技术
光纤
轨迹
反射面
镜像
曲线
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