摘要
本发明涉及外腔激光器技术领域,具体提供一种基于铌酸锂光子波导的混合集成外腔可调谐激光器,包括端面耦合的半导体光放大器和光子芯片,光子芯片的波导层为铌酸锂材料,光子芯片包括相位调制器、游标微环滤波器和非对称MZI,相位调制器基于铌酸锂材料的电光效应实现激光相位调节;游标微环滤波器基于游标微环滤波器的游标效应和铌酸锂材料的电光效应,实现激光波长调节;非对称MZI基于铌酸锂材料的电光效应,在不同波长激光下实现边模抑制;通过对相位调制器、游标微环滤波器和非对称MZI的电极同步施加时变电压信号,实现激光的大带宽线性调频。本发明制造工艺简单,调谐响应速度快,基于铌酸锂材料的电光效应,实现了激光器大带宽线性调频。
技术关键词
微环滤波器
外腔可调谐激光器
半导体光放大器
光子波导
相位调制器
光子芯片
铌酸锂材料
可调耦合器
电极
模斑转换器
效应
激光增益介质
外腔激光器
珀罗谐振腔
边模
电压
衬底层