集成IMU及ASIC模块的MEMS微镜姿态检测控制方法及集成微系统

本申请公开了一种集成IMU及ASIC模块的MEMS微镜姿态检测控制方法及集成微系统，涉及微机电系统与传感器集成技术领域，该装置包括支撑层、隔离层、CMOS层以及设置在CMOS层上的单芯片集成结构；隔离层用于将支撑层和CMOS层分隔；单芯片集成结构由MEMS微镜、IMU模块以及ASIC电路构成；IMU模块，包括加速度计和陀螺仪，用于实时检测测量物体的姿态信息；ASIC电路用于根据姿态信息解算测量物体的姿态误差并动态调整微镜驱动信号。本申请能够提升MEMS激光雷达的稳定性与精度。