摘要
本申请实施例提供一种晶圆键合结构及其制造方法、芯片堆叠结构的制造方法、封装结构。其中,晶圆键合结构的制造方法包括:提供第一晶圆和第二晶圆;第一晶圆和第二晶圆包括多个芯片;形成覆盖第一晶圆和第二晶圆的第一面的第一介质层;以及形成贯穿第一介质层的第一导电结构;第一导电结构与第一介质层的侧壁和相应芯片的顶面接触;其中,第一介质层的顶面与第一导电结构的顶面之间具有第一高度差;形成覆盖第一介质层的顶面的第二介质层;其中,第二介质层的顶面与第一导电结构的顶面之间具有第二高度差;第二高度差的绝对值大于第一高度差的绝对值。
技术关键词
晶圆键合结构
导电结构
介质
芯片堆叠结构
机械抛光工艺
光刻胶图案
导电层
动态随机存取存储器芯片
互连结构
界面
封装结构
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