波导外腔激光器

本申请提供一种波导外腔激光器，包括：增益芯片，用于产生光源；无源外腔芯片，用于提供窄带反馈，包括模斑转换器、光栅和波导，所述增益芯片经由所述模斑转换器与所述光栅耦合；所述波导用于传输光信号；所述光栅位于所述波导的侧面，包括周期性排列的刻蚀结构，所述波导两侧的光栅错位设置。相比现有技术，本方案提出集成非对称侧向耦合光栅外腔窄线宽半导体激光器，可在不加电调谐的情况下输出指定波长的光，其调谐仅需一个控制回路，且满足千赫兹级线宽的应用需求。此外在满足高边模抑制比和窄线宽激光输出要求的同时，本方案所加工结构的尺寸相对较大，可以使用低制程的工艺完成加工，因而工艺制作成本更低。