一种异质集成可调谐激光器

本发明涉及可调谐激光器技术领域，具体提供一种异质集成可调谐激光器，包括氮化硅光子芯片和键合在氮化硅光子芯片上表面的钽酸锂薄膜，由钽酸锂薄膜和氮化硅波导层异质集成形成混合波导，氮化硅光子芯片沿波导层依次设置有环形反射镜、增益芯片、游标微环滤波器、相位调制器和可调环形镜，其中，环形反射镜与可调环形镜构成谐振腔，通过调节游标微环滤波器的电极上施加的电压，改变混合波导折射率，实现输出激光波长的快速切换；通过调节相位调制器的电极上施加的电压，改变混合波导折射率，实现线性调频信号输出。本发明克服了传统可调谐激光器调谐速度低、线性调频带宽小及波长可调范围较小等缺陷，并且制造工艺简单，经济成本低。