一种离子束溅射复合膜控制系统及方法

本发明涉及离子束溅射技术领域，具体地说，涉及一种离子束溅射复合膜控制系统及方法。包括参数逆向求解模块、靶材运动控制模块和界面污染抑制模块。本发明通过参数逆向求解模块采集复合膜的目标成分组成和预存的靶材物理参数数据，利用逆向积分方程求解算法，输出束斑形状参数和靶材运动轨迹参数，靶材运动控制模块建立椭圆束斑与组合靶动态耦合模型，界面污染抑制模块利用激光发射器发射高能量脉冲激光，在已沉积膜层表面刻蚀出分割槽，减少界面污染，并结合边界束流衰减，对离子束的束流强度进行调节，协同作用抑制界面污染，实现对复合膜成分的精确控制，提高了成分控制的精度和效率。