一种基于光场调控的热膨胀系数测量系统及方法

本发明提供一种基于光场调控的热膨胀系数测量系统及方法，该测量系统，包括：光场生成模块，包括光源和空间光调制器，所述空间光调制器用于将所述光源产生的光束进行调制生成包含正交条纹的结构化光场；温控模块，用于对待测样品进行温度控制；探测模块，包括4f光学组件和相机，4f光学组件用于对所述结构化光场投射待测样品表面后所产生的反射光场处理后入射所述相机，相机用于成像；数据处理单元，对相机成像数据处理，计算获得待测样品的热膨胀系数。本发明采用SLM动态生成可编程测量光场，无需样品表面处理；通过光场相位变化反演样品三维形变，结合多波长差分测量技术可有效消除环境扰动，提高测量精度。