一种超小型高精度伺服驱动转台的控制方法和系统

本发明提供的一种超小型高精度伺服驱动转台的控制方法和系统，本发明涉及伺服驱动转台技术领域，该方法包括基于待检测晶圆的图片确定每一个分割芯片图片和每一个分割芯片信息；基于每一个分割芯片信息确定多个第一风险芯片；基于多个第一风险芯片信息使用聚类算法进行聚类得到K个簇和每个簇的代表芯片；得到距离每个簇的代表芯片的X射线检查信息；基于多个第一风险芯片信息、每个簇的代表芯片的X射线检查信息确定多个风险簇和每一个风险簇中的多个第二风险芯片；基于每一个风险簇中的多个第二风险芯片图片确定最终检测路径；基于所述最终检测路径控制超小型高精度伺服驱动转台进行电气性能检测，该方法能够快速准确确定出最优的晶圆检测路径。