一种基于四组谐振梁的双轴石英振梁加速度计用芯片

本公开是基于四组谐振梁的双轴石英振梁加速度计用芯片，包括安装板；圆形质量块；四个挠性支撑片，质量块和安装板之间通过四个挠性支撑片连接；第二通孔，第二通孔为应力隔离与出线孔，第二通孔为圆形，设置在质量块的中心位置；四组谐振梁，每组谐振梁均包括相对设置在质量块上下表面的两个谐振梁，每个谐振梁与其相邻的挠性支撑片之间的夹角为45°。本发明四组谐振梁与挠性支撑片之间的夹角为45°，可以实现X、Y双方向的加速度的测量；由于每组谐振梁具有上下两个谐振梁，不同组的谐振梁的差动输出设计提高了加速度计的灵敏度；当任意方向输入加速度时，挠性支撑片均可发生线位移，有效提高了芯片的力学环境适应性。