自动校准方法

本申请涉及半导体制造技术领域，提供了一种自动校准方法。该自动校准方法包括以下步骤：根据视觉校准角度算法确定机械手运动轴之间的机械手偏差角度；根据所述机械手偏差角度对所述机械手的空间坐标进行校准，得到所述机械手的补偿步距。本申请提供一种自动校准方法，能够根据偏差角度与机械手的移动步距进行补偿，提高取放料精度，进而降低放料翘料风险。