摘要
本发明提供了一种集成电化学栅极的机械可控裂结单分子电学测试芯片。该方法将电化学栅极直接集成至所开发的机械可控裂结芯片上。通过聚焦离子束切削技术,制备了以金纳米桥连接的电极对,以及用于实现电化学调控的铂对电极和参比电极,旨在研究单分子电荷传输事件和氧化还原反应。
技术关键词
集成电化学
芯片结构
巯基硅烷
电子束
栅极
电极
光刻胶
分子
电化学窗口
机械
原子层沉积系统
图案
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沉积氧化硅层
离子束
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