光电子芯片的端面处理方法

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光电子芯片的端面处理方法
申请号:CN202510874918
申请日期:2025-06-27
公开号:CN120390481B
公开日期:2025-09-23
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种光电子芯片的端面处理方法,所述处理方法包括:在光电子芯片有凸点的表面制作多个凹槽,凹槽沿所述光电子芯片的任意一条中轴线呈轴对称分布,且在光电子芯片的中轴线上,每300μm‑1000μm制作1个凹槽,在预设夹持区域内至少制作4个凹槽,在非夹持区域内至少制作4个凹槽;然后在光电子芯片有凸点的表面覆盖表面具有凸起结构的保护片,利用凸起结构和凹槽的嵌合进行固定,并填充粘接剂,形成复合结构,然后采用夹具夹持并对光电子芯片的端面进行磨抛处理,去除保护片和粘接剂,获得处理后的光电子芯片。本发明的方法既可以保护光电子芯片的凸点,同时通过控制凹槽的分布,可以降低单点位置的应力,防止光电子芯片损坏。
技术关键词
芯片 凹槽 粘接剂 保护片 复合结构 轴对称 夹具 玻璃片 环氧树脂 光刻胶 氮化硅 氧化硅 石蜡 硅片 实体 碱性 应力 尺寸
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