摘要
本发明涉及一种光电子芯片的端面处理方法,所述处理方法包括:在光电子芯片有凸点的表面制作多个凹槽,凹槽沿所述光电子芯片的任意一条中轴线呈轴对称分布,且在光电子芯片的中轴线上,每300μm‑1000μm制作1个凹槽,在预设夹持区域内至少制作4个凹槽,在非夹持区域内至少制作4个凹槽;然后在光电子芯片有凸点的表面覆盖表面具有凸起结构的保护片,利用凸起结构和凹槽的嵌合进行固定,并填充粘接剂,形成复合结构,然后采用夹具夹持并对光电子芯片的端面进行磨抛处理,去除保护片和粘接剂,获得处理后的光电子芯片。本发明的方法既可以保护光电子芯片的凸点,同时通过控制凹槽的分布,可以降低单点位置的应力,防止光电子芯片损坏。
技术关键词
芯片
凹槽
粘接剂
保护片
复合结构
轴对称
夹具
玻璃片
环氧树脂
光刻胶
氮化硅
氧化硅
石蜡
硅片
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