一种基于荧光示踪成像技术的晶圆清洗喷嘴效率定量表征方法及系统

本发明公开了一种基于荧光示踪成像技术的晶圆清洗喷嘴效率定量表征方法及系统，属于半导体清洗技术领域。所述方法包括以下步骤：均匀掺混粘度可控的污染物标准液与荧光示踪剂形成可定量追踪的污染物模拟液；基于旋涂设备在测试基板表面上旋涂定量污染物模拟液形成均匀的污染层；采用待评估清洗喷嘴对预设污染基板进行定向清洗，通过激发光源激发荧光示踪剂并通过电荷耦合器件相机成像系统采集清洗过程中的荧光信号分布图像；通过图像处理算法精确计算污染物残留率，建立喷嘴清洗效率的量化评估指标。本发明实现了清洗全过程的可视化监测及清洗效率的精准量化评估，为高精度清洗设备的参数优化与工艺验证提供了科学的量化依据。