摘要
本发明公开了一种多晶圆光电混合贴片机,涉及芯片贴装技术领域,包括,安装底板;中转台模组,设置于安装底板顶部的中间处,中转台模组上安装有用于校准芯片角度的视觉系统模块;多个晶圆台模组,间隔设置于安装底板的表面,晶圆台模组用于支撑芯片;芯片转运模组,设置于中转台模组与至少其中一个晶圆台模组之间;本发明中,各模组围绕中转台模组排布,芯片转运模组转动后将需要校准的芯片从晶圆台模组送到中转台,贴片头先从其中一个晶圆台模组上拾取不需要校准的芯片,然后经过中转台拾取校准后的芯片,然后一同将两种芯片送至键合区,此布局缩短模组间距与芯片移动行程,使取料、校准等步骤可同步进行。
技术关键词
晶圆台
工作平台
光芯片
转台
安装底板
直线模组
贴片头模组
贴片机
取料模组
光电
伺服电机
视觉系统
视觉模组
蘸胶盘
校准
电机座