一种增材制造光学精度的在线闭环校准方法与动态补偿系统

本发明公开了一种增材制造光学精度的在线闭环校准方法与动态补偿系统。通过部署光斑位置传感器网络(包括但不限于PSD、CCD、CMOS等)，实时捕获振镜系统在入射光路和/或加工平面的光斑位置数据，建立光斑偏移量与振镜控制参数的动态映射关系。采用分时检测策略，在打印层间或指定周期内自动执行光学标定，通过逆向补偿算法实时修正振镜控制指令，实现亚微米级的光学精度闭环控制。本方法突破性地解决了SLM/SLS等工艺中因热漂移、机械振动导致的光斑位置失准问题，且不依赖特定硬件架构，适用于单振镜、多振镜拼接及动态聚焦系统。