摘要
本发明涉及TGV基板技术领域,具体涉及所述一种TGV基板结构,包括TGV基板,所述TGV基板上开设有若干玻璃通孔,每个玻璃通孔内均设置有供多层TGV基板之间互连的填充铜;以及围绕每个玻璃通孔设置的用于缓冲填充铜受热膨胀的盲孔;以及设置于盲孔内,配合盲孔对填充铜受热膨胀进行缓冲的填充膜。本发明通过围绕玻璃通孔开设盲孔,并在盲孔内设置填充膜,利用孔结构以及填充膜,对填充铜受热膨胀下TGV基板的变形进行缓冲,降低TGV基板因填充铜受热膨胀量大于TGV基板膨胀量,而导致TGV基板裂纹产生,甚至碎屑的可能,保障了TGV基板的安全,进而保障TGV封装芯片的安全以及使用稳定。
技术关键词
基板结构
玻璃
有机膜材料
基板技术
盲孔深度
通孔
缓冲
封装芯片
孔结构
裂纹
碎屑
关系