摘要
本申请公开一种湿法金属剥离设备,包括底座、容器、喷射组件及抓取机构。抓取机构包括依次连接的升降组件、旋转组件及抓取组件,升降组件设置于底座,且升降组件能够驱动抓取组件在容器内往复升降,抓取组件能够抓取芯片;在抓取组件上升至清洗液的液面上方时,喷射组件能够引导容器内的清洗液从输入端流向输出端,并从输出端喷向抓取组件上的芯片。抓取组件上的芯片在浸入清洗液内后,旋转组件能够驱动抓取组件带动芯片在清洗液内转动,而后抓取组件抬升至清洗液的液面上方,喷射组件能够朝芯片的正面喷射清洗液,将残留的金属冲洗干净。如此,可以有效地提高对芯片正面金属的剥离效果,减少芯片表面金属的残留,进而提高芯片质量。
技术关键词
湿法金属
抓取组件
剥离设备
抓取机构
喷射组件
升降组件
旋转组件
清洗液
安装盘
容器
振动发生器
芯片正面金属
过滤组件
吸附件
底座
输出端
驱动件
滤网
输入端