摘要
本发明公开了一种双面互连陶瓷封装SiP气密封装方法,其包括以下步骤:提供平面陶瓷盖板和三维陶瓷底板;在平面陶瓷盖板的底端制作限位阻焊层;在平面陶瓷盖板的底端低温预置受限位阻焊层限位的焊料层;将平面陶瓷盖板和三维陶瓷底板相对叠放,以使围框结构和若干圆柱结构抵接焊料层,再进行共晶焊接,以获得气密的双面互连陶瓷封装SiP产品。本发明采用限位阻焊方式,在平面陶瓷盖板上制作限位阻焊层,对焊料层进行限位,同时能够有效控制焊料层融化后的溢流状态,以避免因焊料层移位和溢流导致的焊接空洞,从而有利于提高焊料层的预置精度和陶瓷封装SiP的气密性能;本发明采用低温预置方式对焊料层进行固定,解决了焊料层移位问题。
技术关键词
陶瓷盖板
气密封装方法
陶瓷封装
陶瓷底板
焊片
焊料
双面
共晶
焊接夹具
截面尺寸
受限
围框结构
芯片
半圆形
三角形
空洞
丝网
顶端
阵列
真空