缺陷检测方法、装置、设备及存储介质

本申请涉及一种缺陷检测方法、装置、设备及存储介质，应用在缺陷检测领域，包括获取硅片图像数据集；对硅片图像数据集中每个图像进行伪异常处理，并生成若干伪缺陷样本图像；将若干伪缺陷样本图像输入训练完成的图像重建模型，并输出与若干伪缺陷样本图像对应的若干重构图像；将若干伪缺陷样本图像与对应的若干重构图像输入预构建的缺陷检测模型，采用第一损失函数对预构建的缺陷检测模型进行训练，并生成训练完成的缺陷检测模型；在接收到待检测的硅片图像时，采用训练完成的图像重建模型和训练完成的缺陷检测模型对待检测的硅片图像进行缺陷检测，并生成缺陷最终检测结果图。本申请具有的技术效果：扩展缺陷样本数据集，提高模型的泛化能力。