摘要
本发明公开了一种嵌入式转接板的制作方法及其成形结构,属于半导体封装技术领域。其工艺如下:封装基板预处理并背面植金属球;封装基板正面临时键合临时键合载板;塑封封装基板的背面和金属球,并固化,再进行第一次减薄;封装基板的正面解键合;准备桥接芯片单体,其正面设置第一金属柱群;封装基板的正面设置第二金属柱群并正装桥接芯片单体;塑封第二金属柱群和桥接芯片单体,并减薄,露出第一金属柱群和第二金属柱群的金属柱端面,再设置重新布线层,形成嵌入式转接板正面;封装基板的背面第二次减薄,减薄直至露出金属球,形成嵌入式转接板背面,完成嵌入式转接板的结构。本发明降低了封装工艺难度,提高了产品性能,降低了工艺成本。
技术关键词
封装基板
布线金属层
玻璃基板
转接板
正面
单体
芯片
镀铜工艺
填充物
刻蚀工艺
半导体封装技术
气相沉积工艺
切割制程
填充通孔
氧化层
封装工艺
双面