晶圆缺陷检测的预处理方法及计算机程序产品

本发明提供了一种晶圆缺陷检测的预处理方法及计算机程序产品。其中，晶圆缺陷检测的预处理方法包括：获取待检测晶圆的金属层版图，金属层版图的版图图形包括实体区域和空隙区域；从版图图形中提取出空隙区域，作为待处理区域；对空隙区域的边界进行打断处理，生成多个断边；针对不同类型的断边生成相应类型的矩形单元，以拆分空隙区域；将生成的各类矩形单元输入至晶圆缺陷检测数据库。本发明的优点是能够针对金属层版图的空隙区域进行缺陷检测，避免因遗漏该区域缺陷而影响芯片性能问题。