基于力传感器调节的磁流变抛光设备与方法

本发明涉及光学加工技术领域，尤其涉及一种基于力传感器调节的磁流变抛光设备与方法，设备包括机器人、控制单元、磁流变加工模块和力传感器；其中，磁流变加工模块设置在机器人的末端，且力传感器设置在磁流变加工模块和机器人之间；机器人带动磁流变加工模块对光学元件进行加工，并在加工过程中力传感器测量磁流变加工模块施加到光学元件上加工的力；方法中通过力传感器测量磁流变加工在加工过程中力的实时变化，对磁流变加工模块中供给系统、喷嘴和作动器组进行实时调控，进而实现去除函数的实时恒定控制。