一种石英零部件批量涂蜡工艺及其装置

本发明公开了一种石英零部件批量涂蜡工艺及其装置，包括：加工底部板，和设置在加工底部板上的加工面板，以及设置在加工面板上的石英零件本体，还包括：所述加工底部板的上表面外侧平行连接有2组安装滑轨座，且安装滑轨座末端的衔接支撑板连接在加工底部板上，所述衔接支撑板外侧的第一电动滑轨内部设置有第一电动滑块，且第一电动滑块的上侧分别连接有间隔块和第二电动滑轨；所述第二电动滑轨的内部连接有衔接顶块。该石英零部件批量涂蜡工艺及其装置，通过三轴机械臂和视觉定位实现涂蜡位置精度，不需要人工操作，同时对石英基板独立加热实现石英基板多工位并行处理，提升批量生产效率，增加加热均匀性，减少了人工干预。