基于飞秒激光对芯片的测温和形貌同步原位监测系统

本申请涉及一种基于飞秒激光对芯片的测温和形貌同步原位监测系统，其中，方法包括：利用飞秒激光器、时间色散单元、非偏振分束器、空间分散组件、聚焦单元、MHz级及以上高速自由空间光电探测器，MHz级及以上高速数字示波器及计算机等组件对飞秒激光脉冲进行时域和空间变换，结合希尔伯特变换等数据处理方法，即可获得芯片表面瞬态温度和形貌变化。由此，解决了现有技术无法对芯片实现MHz级的同步超快测温和成像等问题。